質(zhì)量流量控制器成為新一代新型儀表
質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，質(zhì)量流量控制器能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，質(zhì)量流量控制器自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡(jiǎn)單地說(shuō),質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
一般而言，僅對(duì)流量進(jìn)行計(jì)量或監(jiān)測(cè)時(shí)，用質(zhì)量流量計(jì)；需要對(duì)流量進(jìn)行控制時(shí)，用質(zhì)量流量控制器。某些測(cè)量場(chǎng)合，用二者皆可，但質(zhì)量流量控制器更好用。例如，后面講到的測(cè)量小孔直徑﹑閥門泄漏量﹑工件(如毛細(xì)管)流通量等。質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。 對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。
質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示、累積流量自動(dòng)計(jì)量、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄、計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。質(zhì)量流量控制器能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。質(zhì)量流量控制器有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 質(zhì)量流量控制器可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；質(zhì)量流量控制器有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品小流量范圍可達(dá)0～5 sccm，大流量范圍可達(dá)0～200 slm?，F(xiàn)如今質(zhì)量流量控制器已得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用，成為新一代新型儀表。
